合金熒光光譜儀能量色散x熒光光譜儀是利用熒光 x射線具有不同能量的特點，將來自試樣的熒光x射線依次檢測，得到一系列幅度與光子能量成正比的脈沖，經放大器放大后送到多道脈沖分析器。按脈沖幅度的大小分別統計脈沖數，脈沖幅度可以用X光子的能量標度，從而得到計數率隨光子能量變化的分布曲線，即X光能譜圖。

合金光譜儀(合金熒光光譜儀)能量色散x熒光光譜儀是利用熒光 x射線具有不同能量的特點，將來自試樣的熒光 x射線依次檢測，得到一系列幅度與光子能量成正比的脈沖，經放大器放大后送到多道脈沖分析器。按脈沖幅度的大小分別統計脈沖數，脈沖幅度可以用X光子的能量標度，從而得到計數率隨光子能量變化的分布曲線，即X光能譜圖。